Còmhdach sputtering Nuair a bhios gràinean àrd-lùth a’ spreadhadh an uachdar cruaidh, faodaidh na gràineanan air an uachdar cruaidh lùth fhaighinn agus teicheadh bhon uachdar airson a thasgadh air an t-substrate.Thòisich sputtering iongantas air a chleachdadh ann an teicneòlas còmhdachaidh ann an 1870, agus mean air mhean air a chleachdadh ann an cinneasachadh gnìomhachais às deidh 1930 mar thoradh air àrdachadh ann an ìre tasgaidh.Tha an uidheamachd sputtering dà-phòla a thathas a’ cleachdadh gu cumanta air a shealltainn ann am Figear 3 [Diagram sgeama de dhà sputtering pòla còmhdach falamh].Mar as trice bidh an stuth a thèid a thasgadh air a dhèanamh ann an targaid truinnsear, a tha stèidhichte air a’ chatod.Tha an substrate air a chuir air an anod mu choinneimh uachdar an targaid, beagan cheudameatairean air falbh bhon targaid.Às deidh an siostam a bhith air a phumpadh gu falamh àrd, tha e air a lìonadh le gas 10 ~ 1 Pa (argon mar as trice), agus tha bholtadh grunn mhìltean volts air a chuir a-steach eadar an catod agus an anod, agus thèid sgaoileadh glaodh a chruthachadh eadar an dà electrodes. .Bidh na h-ianan dearbhach a ghineadh leis an t-sgaoilidh a’ sgèith chun chatod fo ghnìomhachd raon dealain agus a’ bualadh leis na dadaman air an uachdar targaid.Canar atoman sputtering ris na dadaman targaid a tha a’ teicheadh bhon uachdar targaid mar thoradh air an tubaist, agus tha an lùth aca anns an raon de 1 gu deichean de bholtan dealanach.Tha na dadaman sputtered air an tasgadh air uachdar an t-substrate gus film a chruthachadh.Eu-coltach ri còmhdach falmhachaidh, chan eil còmhdach sputter air a chuingealachadh le ìre leaghaidh an stuth film, agus faodaidh e stuthan teasairginn leithid W, Ta, C, Mo, WC, TiC, msaa a sputtering. modh, is e sin, is e an gas reactive (O, N, HS, CH, msaa).
air a chur ris an Ar gas, agus bidh an gas reactive agus na h-ianan aige ag ath-fhreagairt leis an atom targaid no an atom sputtered gus todhar a chruthachadh (leithid ogsaid, nitrigin) todhar, msaa) agus a thasgadh air an t-substrate.Faodar dòigh sputtering àrd-tricead a chleachdadh gus am film inslitheach a thasgadh.Tha an t-substrate air a chuir suas air an dealan talmhainn, agus tha an targaid inslitheach air a chuir suas air an dealan eile.Tha aon cheann den t-solar cumhachd àrd-tricead stèidhichte, agus tha aon cheann ceangailte ri dealan le targaid inslithe tro lìonra maidsidh agus capacitor bacadh DC.Às deidh an solar cumhachd àrd-tricead a chuir air, bidh an bholtadh àrd-tricead an-còmhnaidh ag atharrachadh a polarity.Bhuail na dealanan agus na h-ianan dearbhach anns a’ phlasma an targaid inslitheach anns an leth chearcall adhartach agus leth-chearcall àicheil an bholtachd, fa leth.Leis gu bheil an gluasad dealain nas àirde na an ian dearbhach, tha uachdar an targaid inslithe fo chasaid àicheil.Nuair a ruigear an cothromachadh fiùghantach, tha an targaid aig comas claonadh àicheil, gus am bi na h-ianan dearbhach a’ spùtadh air an targaid a’ leantainn.Faodaidh cleachdadh sputtering magnetron an ìre tasgaidh àrdachadh faisg air òrdugh meudachd an coimeas ri sputtering neo-magnetron.
Ùine puist: Iuchar-31-2021