Còmhdach falmhachaidh: Le bhith a’ teasachadh agus a’ falmhachadh stuth sònraichte gus a thasgadh air an uachdar cruaidh, canar còmhdach falmhachaidh ris.Chaidh an dòigh seo a mholadh an toiseach le M. Faraday ann an 1857, agus tha e air fàs gu bhith mar aon de na modhan sin
dòighean còmhdachaidh air an cleachdadh gu cumanta san latha an-diugh.Tha structar an uidheamachd còmhdach falmhachaidh air a shealltainn ann am Figear 1.
Bithear a ’cur stuthan falmhaichte leithid meatailtean, todhar, msaa ann am preas-aodaich no crochte air uèir teth mar an stòr falmhachaidh, agus tha am pìos obrach a tha ri bhith air a plastadh, leithid meatailt, ceirmeag, plastaig agus substrates eile, air a chuir air beulaibh an ceusadh.Às deidh don t-siostam a bhith air a ghluasad gu falamh àrd, tha am breus air a theasachadh gus an susbaint a ghlanadh.Tha na dadaman no na moileciuilean den stuth falmhaichte air an tasgadh air uachdar an t-substrate ann an dòigh dhlùth.Faodaidh tiugh an fhilm a bhith eadar ceudan de angstroms gu grunn mhicronan.Tha tiugh an fhilm air a dhearbhadh leis an ìre falmhachaidh agus ùine an stòr falmhachaidh (no an ìre luchdachadh), agus tha e co-cheangailte ris an astar eadar an stòr agus an t-substrate.Airson còmhdach sgìre mhòr, bidh substrate rothlach no grunn stòran falmhachaidh air an cleachdadh gu tric gus dèanamh cinnteach à èideadh an fhilm.Bu chòir an astar bhon stòr falmhachaidh chun an t-substrate a bhith nas lugha na an t-slighe chuibheasach an-asgaidh de mholacilean bhalbhaichean anns a’ ghas a tha air fhàgail gus casg a chuir air bualadh moileciuil bhalbhaichean le moileciuilean gas fuigheall bho bhith ag adhbhrachadh buaidhean ceimigeach.Tha an lùth cineatach cuibheasach de mholacilean bhalbhaichean timcheall air 0.1 gu 0.2 bholt dealanach.
Tha trì seòrsaichean de thùsan gluasaid ann.
① Stòr teasachaidh an aghaidh: Cleachd meatailtean teas-teasachaidh leithid tungsten agus tantalum gus foil bàta no filament a dhèanamh, agus cuir sruth dealain an sàs gus an stuth falmhaichte a theasachadh os a chionn no anns a’ bhreabadair (Figear 1 [Diagram sgeamach de uidheamachd còmhdach falmhachaidh] còmhdach falamh) Teasachadh an aghaidh stòr air a chleachdadh sa mhòr-chuid airson stuthan mar Cd, Pb, Ag, Al, Cu, Cr, Au, Ni;
② Stòr teasachaidh inntrigidh àrd-tricead: cleachd sruth inntrigidh àrd-tricead gus an stuth ceusaidh agus falmhachaidh a theasachadh;
③Stòr teasachaidh beam dealanach: iomchaidh Airson stuthan le teòthachd gluasaid nas àirde (gun a bhith nas ìsle na 2000 [618-1]), tha an stuth air a ghluasad le bhith a’ spreadhadh an stuth le giùlan dealanach.
An coimeas ri dòighean còmhdach falamh eile, tha ìre tasgaidh nas àirde aig còmhdach evaporative, agus faodar a chòmhdach le filmichean toinnte bunasach agus neo-lomadh teirmeach.
Gus film criostail singilte àrd-ghlan a thasgadh, faodar epitaxy beam moileciuil a chleachdadh.Tha an inneal epitaxy beam moileciuil airson a bhith a’ fàs GaAlAs còmhdach criostail singilte air a shealltainn ann am Figear 2 [Diagram sgeamach de chòmhdach falamh inneal epitaxy beam moileciuil].Tha an fhùirneis jet uidheamaichte le stòr giùlan moileciuil.Nuair a thèid a theasachadh gu teòthachd sònraichte fo fhalamhachadh ultra-àrd, thèid na h-eileamaidean san fhùirneis a chuir a-mach don t-substrate ann an sruth moileciuil coltach ri beam.Tha an t-substrate air a theasachadh gu teòthachd sònraichte, faodaidh na moileciuilean a tha air an tasgadh air an t-substrate imrich, agus tha na criostalan air am fàs ann an òrdugh leusair criostal an t-substrate.Faodar epitaxy beam molecular a chleachdadh airson
faigh film criostal singilte àrd-ghlan leis a’ cho-mheas stoichiometric a tha a dhìth.Bidh am film a’ fàs as slaodaiche Faodar smachd a chumail air an astar aig 1 sreath singilte / diog.Le bhith a’ cumail smachd air a’ bhaffle, faodar am film criostail singilte leis a’ cho-dhèanamh agus an structar a tha a dhìth a dhèanamh gu ceart.Tha epitaxy giùlan moileciuil air a chleachdadh gu farsaing gus grunn innealan aonaichte optigeach agus diofar fhilmichean structar superlattice a dhèanamh.
Ùine puist: Iuchar-31-2021